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第717章 准备婚礼(第1页)

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在IBM工作的林本坚也不能放过。

这位对于浸没式光刻技术有鬼才一般的想法,必须要招揽。

此时,这位天才就有了浸没式光刻技术的想法。

当芯片制程卡在65nm之际,林本坚看到浸没式光刻技术的机会。

为解决技术难题、消除厂商疑虑,林本坚还花费半年时间带领团队发表3篇论文。

当时,业界质疑水作为一种清洁剂,会把镜头上的脏东西洗出来,还有人担忧水中的气泡、光线明暗等因素会影响折射效果。

而根据林本坚团队的研究,他们提出一种曝光机,可以保持水的洁净度和温度,使水不起气泡。

虽然这种曝光机并未在实际中被采用,但林本坚的研究证明技术上的难题是可以被解决的。

他还亲自奔赴美国、日本、德国、荷兰等地,向光刻机厂商介绍浸没式光刻的想法,但是,有能力进行研发的大厂普遍不买账。

个中原因也不难理解,自20世纪60年代起,玩家入局光刻机市场,在干式光刻技术上投入大量财力、人力、物力,好不容易踏出一条可行的技术路线。

如果按照林本坚“加水”

的想法,各位前辈就得“一夜回到解放前”

,从技术到设备重新探索,很少有人舍得这么高的沉没成本。

但是,“很少有人”

不代表“没有人”

。

但偏偏阿斯麦就是这么一个敢吃螃蟹的人,比如EUVLLC联盟里,美国成员构成主体。

在对外国成员的选择上,英特尔和白宫产生分歧。

英特尔看中阿斯麦和尼康在光刻机领域的经验,想拉他们入伙,但白宫认为如此重要的先进技术研发不该邀“外人”

入局。

此时,阿斯麦显示出惊人的前瞻能力,它向美国佬表示:我愿意出资在你们村建工厂和研发中心,并保证55%的原材料都从美国采购,只求你们研究EUV时一定要带我玩。

北欧同志如此的诚意让美国佬难以拒绝,就这样,阿斯麦成为EUVLLC里唯二的两家非美国公司之一,另一家是德国公司英飞凌。

尽管EUVLLC证明用极紫外线作为光源造光刻机是可行的,但却没指出一条明路。

时间过去好几年,EUV光刻机还是连个影子都没有,但巨额的研发资金、难以跨越的技术瓶颈已经足以让大多数玩家望而却步。

但是,阿斯麦还是不死心,并且决定要牵头欧洲的EUV研发项目。

如果说在EUVLLC中,阿斯麦是蜷缩在角落里等待被其他大玩家“带飞”

,而这一次,阿斯麦则是要自己做领头雁。

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