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第九十四章 光刻机比想象的容易（第1页）

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光刻机很难。

真的非常非常难。

难度系数是氢弹的十倍。

哪怕倾举国之力都不可能在短期内拿得下。

以上这些，是经常充斥在卫明耳边的话，听得他几乎耳朵长茧。

真的有那么难么？

这些天，亲自进入研发工厂，了解透了光刻机的工作原理，在“老板工作间”

内，利用体内的小黑，轻松打磨出几十个合格的高精密零件，以及20块的“锅盖”

镜片——每块“锅盖”

镜片，由四十层玻璃叠加而成，表面凸起不得超过1纳米。

“很简单么，好像没什么难的。”

看着面前成批成批的精度完全合格的零件，卫明撇了撇嘴说道。

“到底难在了什么地方？”

“光源发生器非常难。”

蒲伟才说道“要制造出波长135纳米的极紫外光，必须要用193纳米波长的深紫外光，击打自由落体的金属锡滴，而且要在极短的时间内，连续击中锡滴两次，每秒重复5万次，才能产生足够强度的极紫外光。”

要知道金属锡滴的直径只有二十微米。

自由落体的过程中，不仅要被激光击中，由水滴状摊平成圆饼状，再进行第二次击打，才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程，完全是动态中发生的，如同用绣花针击中苍蝇，而且是连续两次。

并在一秒内，重复五万次这套操作。

“你不是说已经解决了光源问题了么？而且能源利用率达到了5？”

卫明不解的道。

“光源是解决了，是因为我用的击打光源，是用特殊晶体击发出的132纳米光，能量利用率肯定比193纳米光高的多，但是要想制造强度足够的135纳米波长的极紫外光，还是得通过击打锡滴的方式达到，这是唯一可行的路径。”

“也就是说，你们只搞定了击打光源，然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧？”

卫明眉头皱了起来。

“卫总，我们不是搞虚假宣传，可是长期的科学研究，如果没有点成果的话，谁会关注我们，上面怎么给我们拨款？所以哪怕只是部分突破，也得重点宣传一番。”

一旁的向广林解释说道。

“其实我们正在攻克的最后一项难题，就是锡滴的击打频率问题。”

蒲伟才也道“我们已经解决了连续击打问题，但每秒最多重复5000次，不过我们的能量利用率更高，只要能做到每秒重复2万次，就能得到足够使用的光照强度了。”

“所以我们的能量利用率不是没有意义，每秒2万次比每秒5万次，要明显容易实现多了。”

“每秒2万次……”

卫明沉吟了一下，道“还缺什么条件，阻止你们达到这个频率？”

“精度，控制系统的精度。”

蒲伟才说道“如同一个时钟，同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落，以及4万次的击打，时间上，每秒内的误差，不得超过十亿分之一秒；距离上，每秒不能超过1纳米，并且还要设计一套‘偏差纠正’系统，只要误差累积过大，就会自动纠正，让系统长期稳定的运转下去。”

“目前我们正在全力攻克控制系统，纠偏系统稍稍靠后，但也安排了团队进行攻关。”

“当然如果从岛国进口的相关零件，很快能到我们手中，可能三个月内，我们就能实现击打频率突破2万次。”

岛国？